今年的ASML展台上
现场络绎不绝 热闹非凡
来自五湖四海 各行各业的观众朋友们
近距离感受光刻技术与数字智慧的交互融合
一起来看看ASML展台的高光时刻👇
ASML运用三块互动式屏幕，为大家重点展示了“铁三角”全景光刻解决方案下的产品和技术，其中包括光刻设备、电子束量测设备以及计算光刻技术。
NO.1 光刻设备
NXT:1470 和 NXT:870
从XT气浮平台升级至NXT磁浮平台的两款DUV干式光刻产品，能为客户显著提升产能并降低单位成本。
XT:260
一款基于ASML独有的双工作台技术，采用业界公认的XT4平台，具有双倍视场曝光的i-line光刻系统。该产品能够显著提升产能并降低单片晶圆成本，可支持从先进封装到成熟制程市场的广泛应用和发展趋势。
NO.2 电子束量测设备
本次展会ASML带来了第一代实现在线缺陷检测（物理缺陷和电性缺陷）的多束电子束检测系统eScan 1100。其具备的同时用25条光束进行量测的新技术，可将晶圆量测吞吐量提高至单束量测系统的10倍以上。
NO.3 计算光刻技术
主要应用于芯片的开发与制造环节的计算光刻业务，通过优化成像光源与掩模版设计，实现更精确的图形成像和更好的芯片生产良率。
光刻未来 携手同行
ASML将积极应对全球半导体行业不断变化的需求
以ASML全景光刻解决方案
赋能各行各业创新发展
想要领略ASML全景光刻的魅力吗？
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11月15日18：00前
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ASML进博之旅未完待续…
敬请期待下一期进博系列推文
